X軸精密ステージ
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
- 企業:GMT GLOBAL INC. 台湾本社
- 価格:応相談
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クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でエアベアリング採用加工点が低く、 角度変化を最小限に抑制。 マグネットムーブ採用により、移動負荷を極限まで低減。 対磨耗性、温度変化に対応するため、セラミック素材も選択可能。 ウェハーの加工や超短パルスレーザー搭載に 最適な超精密位置決めステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
制御回路内蔵・USB接続ができる小型自動精密ステージ!
『M3-LS』は、制御回路を内蔵しており、どのような装置にも 容易に組み込みができる小型自動精密ステージです。 外部回路の接続無しで動作させることが可能です。 また、ピエゾモーター駆動を採用。 0.5μmの分解能を有し、光学機やプローブ、センサー等の用途に 適しています。 【特長】 ■制御回路内蔵 ■小型 ■高精度分解 ■絶対位置制御 ■長い駆動長 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ! ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です!
◆超精密位置決めに最適なステージ! ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。