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精密ステージ(光学) - 企業1社の製品一覧

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超精密ステージ

半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ! ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です!

◆超精密位置決めに最適なステージ! ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。

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