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1000N押力とµs応答により、高剛性機構のリアルタイム位置補正を実現
P-840は、高荷重・高いプッシュフォースに対応したコンパクトなピエゾアクチュエータです。最大1000Nのプッシュフォースと最大50Nのプルフォースを備えています。 PI独自のPICMA(R)ピエゾアクチュエータを採用し、完全セラミック絶縁構造により湿度の影響やリーク電流の増加による故障リスクを低減。従来のポリマー絶縁型アクチュエータと比較して最大10倍の長寿命を実現しています。 この製品は、ポリマー絶縁がなく、キュリー温度が高いため、超高真空用に最適です。
Push4500Nとサブミリ秒応答により、振動補正と光学位置制御を高速化
P-216は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、4500NのPush力と500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニングなど ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験で培ってきた精密制御技術をもとに、世界中の研究機関・装置メーカーに採用されるピエゾステージおよびアクチュエータを提供しています。豊富なラインアップと技術力で、お客様のニーズに最適なソリューションをご提案します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
±0.2nm双方向再現性により、ウェハ検査・マスクアライメントの位置ズレを低減
P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。
66mm開口とXYZ最大300µm動作により、透過光観察とウェハ位置決めを安定化
P-561〜563シリーズは、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ軸動作ピエゾナノポジショナ。 動作量は、XYZ 各100／200／300 µm（モデル別）で再現性は±2nm、リニアリティ：0.03％をもちます。 開口は、66×66 mmで透過光・レーザ光路を確保します。 ダイレクト駆動タイプは、XY軸45µｍ、Ｚ軸15µｍ動作で、1000Hzの無負荷時共振周波数を持ち、高分解能で高速応答が実現します。 また、PICMAピエゾセラミックスは、オールセラミックスで絶縁されており対湿度性をもち、高信頼性、長寿命を確保します。半導体検査、超解像顕微鏡、フォトニクス調整などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
