性維持機構(採用) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

XYピエゾステージ｜半導体検査時の位置再現性を維持する機構

±0.2nm双方向再現性により、ウェハ検査・マスクアライメントの位置ズレを低減

P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。