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膜厚測定(差) - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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1ライン3CH設置や、工程前後に測定が可能!多ポイント膜厚測定

多CHでの前後の測定が可能な、多ポイント膜厚測定。複数の受光ヘッドを使用し、複数ポイントの膜厚値を一括測定します。

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションにて膜の厚みの差やムラ等の測定・解析を 効率的に行えるように、自動XYステージを使用して 自動マッピング測定が可能です。(マッピング膜測定) 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器

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光干渉法による高精度膜厚測定

光干渉法による膜厚測定の原理

光干渉法と自社製高精度分光光度計により、非接触・非破壊かつ高速高精度での膜厚測定を可能にしました。 光干渉法は、分光光度計を利用した光学系によって得られた反射率を用いて光学的膜厚を求める方法です。 図1のように金属基板上にコーティングされた膜を例にとると対象サンプル上方から入射した光は膜の表面で反射します(R1)。さらに膜を透過した光が基板(金属)や膜境界面で反射します(R2)。この時の光路差による位相のずれによっておこる光干渉現象を測定し、得られた反射スペクトルと屈折率から膜厚を演算する方法が光干渉法です。

  • 分析機器・装置

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