膜用標準品 - 企業1社の製品一覧

Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品

Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜

• 企業：林純薬工業株式会社 電子材料部
• 価格：応相談

• 化学薬品