【半導体業界向け】装置の精度不足、原因は材料にあり
熱変形や振動で精度が出ないとお悩みの方へ。材料で高精度を実現する選定指針を公開。
露光やエッチング工程で「設計通りの精度が出ない」と悩んでいませんか？ 装置の微細化が進む中、歩留まり悪化の主因は部材の熱変形や振動にあります。 この精度問題を「材料」から解決する、ヒノデの特殊材料をご提案します。 ■低熱膨張鋳鉄『ヒノGDインバー』 ・低熱膨張：熱変形量が鋼の約1/5。線膨張係数1.0～5.0ppm/℃の材料ラインナップ。 ・ニアネットシェイプ：加工範囲・材料ロスを抑え、コストを低減します。 ・快削材：独自の材料特性で加工費低減と精密加工へ対応します。 ○板材からの全加工に比べ約30％のコストダウン事例もございます。 ■高減衰材料『ミネラルキャスティング』 1.減衰性：鋳鉄の約10倍の振動減衰性を持ち、特に高周波振動を吸収します。 2.熱安定性：低熱伝導により外部環境の影響を最小限に抑制します。 ○材料特性と形状最適化を組み合わせることで、サブミクロンの精度が求められる装置の 整定時間を約60%短縮した事例もございます。 現状の精度に限界を感じておられるなら、材料を見直してみませんか？ 【詳細は、下記よりカタログをダウンロードしてご確認ください】
