半導体向け装置「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」
外装SUSは仕様！CR内に対応した洗浄装置、剥離装置
ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、 多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。 処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。 ポンプもシールレス採用しています。 【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 ○装置内はFFU搭載も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：ヴァリアス株式会社
- 価格：応相談
