【半導体製造向け】EL補助潤滑モジュール
ISO6クリーンルーム対応！半導体製造装置のクリーン化に貢献
半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、クリーンな環境が不可欠です。特に、リニアガイドウェイからの潤滑油の飛散は、製品への汚染を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、リニアガイドウェイが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーンな環境を維持します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・クリーンルーム環境 ・リニアガイドウェイの潤滑 【導入の効果】 ・クリーン環境の維持 ・製品への汚染リスク低減 ・メンテナンス周期の延長
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
