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改善成功事例 事例1 有機蒸着セル KOD−cell
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型有機蒸着セルを使用していた。しかしながら、 大型ならではのルツボ容量が大きいと言うこともあり、温度安定性と材料効率が 非常に悪く悩んでいた。有機材料においては、1g当たり数万円もコストが掛かる 材料を使用しているケースがある為、材料効率が悪い大型蒸着源を使用すると、 1回の蒸着において10gもの材料充填の必要がある。そこで、弊社の有機蒸着セルを 用いることで、その点を解消したい。
改善成功事例 事例2 金属蒸着セル KMDW-Cell
◆◇◆経緯◆◇◆ 従来使用している金属蒸着方法は、ボート式であり、金属膜を蒸着する際に、 100A以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、 大電流を使用することで、膜質に悪影響をもたらす要因と考えられる。 また、蒸着の際の飛散量が激しく、チャンバー内のメンテナンスが頻繁に必要となり、 綺麗な環境での使用は困難となっている。
有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着源です。
精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。
