蒸着技術 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【基礎知識資料】蒸着技術とは

コストが低く、開発や試作に好適！蒸着⼿法の種類についてもご紹介します

蒸着とは、誘電体や⾦属等を蒸発あるいは昇華させて、素材(主にガラスや プラスチック等の基板等)の表⾯に付着させる⽅法でコーティング法の1つです。 蒸着材料には様々な種類があり、応⽤の幅が広い点が特⻑です。電⼦部品や 光学部品等多くの分野で活⽤されています。 蒸着は通常10-3〜10-4Pa程度の真空度にて⾏われます。真空で蒸着すると 平均⾃由⾏程が⻑くなり、蒸着材料が他の分⼦に衝突せず素材に付着できます。 また蒸着材料の蒸発温度が下がり、蒸着そのものを容易にするメリットも あります。 他のコーティング法(スパッタ法等)と⽐較してコストが低く、開発や試作に 適しています。蒸着⼿法の種類は、真空蒸着法とプラズマアシスト法、 イオンアシスト法などがあります。 【蒸着⼿法の種類】 ■真空蒸着法 ■プラズマアシスト法 ■イオンアシスト法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。