【用途別事例】半導体製造装置用光学部品
半導体製造装置用光学部品に使用する事が出来るコーティング製品群です。
【対応可能光源】 ■超高圧水銀灯(g/h/i-line)対応ARコート ■超高圧水銀灯(g/h/i-line)対応AL増反射ミラー ■365nmHR ■無偏光ビームスプリッター(ハイブリッドタイプ) ■780nmPBS ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業:CBCオプテックス株式会社
- 価格:応相談
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半導体製造装置用光学部品に使用する事が出来るコーティング製品群です。
【対応可能光源】 ■超高圧水銀灯(g/h/i-line)対応ARコート ■超高圧水銀灯(g/h/i-line)対応AL増反射ミラー ■365nmHR ■無偏光ビームスプリッター(ハイブリッドタイプ) ■780nmPBS ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
様々な波長帯の反射・透過・色調を設計から製品の実現までご提案致します。 特殊素材×薄膜技術⇒新たな複合力をご提案致します。
光学部品を使いたいけど最適な仕様が決まらない・・・ 他社では断られてしまった・・・、入射角度特性が知りたい・・・ など、光学設計でお困りでしたら当社へご相談下さい。 誘電体物質をはじめ、金属薄膜についてもnm単位でコントロールが可能です。 新規製品の請負については光学特性や耐久性を実現する為、基材及び蒸着材料の選定迄、お客様に相談を行った結果をシミュレーションしご注文前の製品レビューを可能に致します。