FHR Anlagenbau GmbHについて
優れた技術力!高品質の結合スパッタリングターゲットを提供するFHRについてをご紹介
FHR Anlagenbau GmbHは、真空プロセスおよび薄膜技術の分野における 革新的な企業です。 1991年にドイツのドレスデンにおいて薄膜の複数アプリケーション向けに 新しいコンセプトとソリューションの開発と販売を目的として開発と設計に 優れた技術力を持ったエンジニアのグループによって設立されました。 FHRは薄膜技術を提供し、世界中の顧客に幅広い用途向けにカスタマイズ された機器を提供しています。 【FHRテクノロジーポートフォリオに含まれるもの】 ■マグネトロンスパッタリングとCVDによる高度なメタライゼーション技術 ■酸化物および窒化物の堆積のための反応性スパッタリング技術 ■高密度プラズマ源のサポートによる高度なエッチング技術 ■半導体、金属、セラミック、ナノ構造、フォトニック材料の処理と改質の ためのフラッシュランプアニーリング(FLA) ■複雑な3D形状において高度な成膜制御により優れた均一性を持った 単層結合のための原子層堆積(ALD)技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:ティー・ケイ・エス株式会社
- 価格:応相談