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薬液供給装置×株式会社ダン科学 - 企業1社の製品一覧

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薬液供給装置

装置組込み式制御盤を搭載!薬品メーカーの原液ポリタンク又は、CCSSからの直接供給が可能

『薬液供給装置』は、HFの自動調合供給装置です。 各薬液の装置への供給は薬品メーカーの原液ポリタンク又は、CCSSからの 直接供給が可能。供給された薬液はポンプにて秤量タンクへ移送し、 規定の比率で、薬液と純水を自動調合します。 また、調合されたHFは供給タンクに貯蔵され、供給要求信号にて、 ユースポイントへ自動供給します。 【主な仕様】 ■本体フレーム:軽量型鋼溶接組立、一体構造焼付塗装仕上げ ■外装色:アイボリーホワイト ■外装被膜:PVC ■構造:本体ドラフト構造、前面、背面、PVC透明パネル ■供給薬品:HF(収納部クリーンエア供給機能付) ■制御部:装置組込み式制御盤 ■供給タンク本体フレーム ・SUS溶接組立、2分割構造+耐蝕樹脂塗装アイボリーホワイト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他半導体製造装置

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