更新日： 集計期間:2025年07月09日～2025年08月05日
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SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。
内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般
ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です
・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。 ・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。
切削穴の表面検査を驚くほど簡単に自動検査できる切削穴表面検査装置！高精度なのに高速スキャン、だから生産現場で使える！
『ジャイロスキャン』は、円筒に検査プローブを挿入し、 円筒内表面に欠陥がないかを検査する、切削穴表面検査装置です。レーザ光を円周方向に回転させながら検査を行うレーザスキャン方式です。周回するごとに移動し内面全体を検査します。微小スポットのレーザ光を用いて検査するため、分解能に優れています。高分解能を簡単に安定して使いこなすことができ、環境素材などの変化があっても、いつも同じ検査結果をだすことができます。 【特長】 ■目視での検査を自動化し、省力化や検査の正確性を向上 ■最少検出サイズφ0.05mmの検査が、生産品質を向上 ■レーザー方式が、生産現場で通用する安定性を実現 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
シート表面の汚れやキズを見つけます！
表面検査装置は、高速で搬送されるシート表面のシミや汚れ等を検出する検査装置です。 本体装置との通信により、自動で検査を開始するので、検査開始忘れをなくせます。同様に、検査品種情報を自動で切り替えるため、データ切替作業が不要です。 不良画像データを約3ヶ月保存することが可能で、日付/製品品種/時間で検索がすることもできます。 【特長】 ■自動検査開始機能 ■自動検査品種切替機能 ■蛇行追従機能 ■NG画像データ管理 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速、高精度な欠陥検出を4つの柔軟なシステム構成で実現。優れた操作性の表面検査装置です
『PIE-650』は、連続して走行するシート状(WEB)のフィルム、金属箔、鋼板、 紙、不織布などやガラス、積層板、樹脂、食品などの欠陥検出(シート検査)に 対応するシート表面検査装置です。 高速かつ、高精細な欠陥検出で高い生産効率を実現、維持します。 また、検査ニーズに応じたシステム構成で小規模システムから 大規模システムまで柔軟に対応が可能です。 【特長】 ■微細な欠陥から濃淡差の小さい欠陥まで高速、正確に検出できる ■850MHzカメラに対応 ■多種・多様な欠陥検出が可能 ■4つのステージ、43台のカメラ映像を高速画像処理 ■優れた操作性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
