500℃でもクラックが入らない被膜を誇るアルマイト加工
500℃以上の高温に加熱しても皮膜にクラックが発生しないアルマイト加工！ 半導体製造装置の重要部品の表面処理に好適！
中国電化工業株式会社は、アルマイトを始めとする金属表面処理を行っています。 アルマイトの加工「クニマイト加工」には、 高温に強い皮膜で、50μmの膜厚を500℃で3時間加熱 しても表面にクラックが発生しない皮膜です。 また、500℃以上の高温に加熱しても皮膜にクラックが発生しないため、 高温になる部品にも使用することが可能です。 半導体製造装置の重要部品や電子部品などにおすすめの加工です。 さらに半導体製造装置へのク二マイト加工において、 クニマイトはパーティクル量の削減に効果を発揮します。 半導体製造装置は通常腐食系ガスを使用しているので、 プラズマからの熱影響でクラックが発生し、 そこから腐食が進行することにより、パーティクルが発生します。 クニマイトは熱によるクラックの発生がないため、 プラズマエッチング装置内で長時間使用してもパーティクルは発生しません。
- 企業：中国電化工業株式会社
- 価格：応相談
