【半導体業界向け】複雑形状の石材装置架台を大幅コストダウン
グラナイトの加工費や納期でお悩みの方へ。優れた減衰性と形状自由度、加工レスな高精度転写で、装置架台の課題を解決します！
■装置架台（ベース）にグラナイトを使う理由と課題 半導体製造装置の架台（ベース）には、高い寸法安定性と優れた減衰性が求められるため、グラナイトが多く採用されています。しかし、複雑形状になると、グラナイトの加工費が高額になることや、製造リードタイムの長期化が大きな課題となっています。 ■解決策：ミネラルキャスティングと高精度転写技術 材料特性 ：鋳鉄の約10倍の減衰性や低熱伝導性など、グラナイトに近い材質特性を持つポリマーコンクリート。 製法の特長：注型製法で複雑な形状を一体成形でき、高精度転写技術で平面度3～7μmの超高精度平面を加工レスで製作。 中大ロットが見込まれる複雑形状の装置架台等にミネラルキャスティングを適用することで、グラナイトの加工品に比べ大幅なコストダウンや製造リードタイム短縮が図れます。 ヒノデグループは材料開発から、加工・物流までワンストップで、お客様に最適なソリューションをご提案します。
