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装置用コネクタ(高圧電源) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により数多くのモデルが『半導体製造装置』に使用されています!

LEMOコネクタは、 振動・引っ張り・ねじれ・衝撃などにさらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度 ・小型同軸 ・非磁性 ・高電圧シールドコネクタ:最大50kVDC対応 ・信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィールドスルーカプラ  真空(気密)  He漏れ率:1x10^-7 mbar.ℓ/s (1x10^-8 Pa. ㎥ /s). 以下まで対応可能 ・耐高温/耐熱性  (非防水モデル:~250℃、防水モデル:~200℃動作可能)

  • 丸型コネクタ
  • 真空機器
  • 蒸着装置

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