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LEMO■半導体製造装置用コネクタ

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最終更新日:2018年11月14日

丸紅エレネクスト株式会社
丸紅エレネクスト株式会社
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「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により数多くのモデルが『半導体製造装置』に使用されています!

LEMOコネクタは、 振動・引っ張り・ねじれ・衝撃などにさらされる過酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度 ・小型同軸 ・非磁性 ・高電圧シールドコネクタ:最大50kVDC対応 ・信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィールドスルーカプラ  真空(気密)  He漏れ率:1x10^-7 mbar.ℓ/s (1x10^-8 Pa. ㎥ /s). 以下まで対応可能 ・耐高温/耐熱性  (非防水モデル:~250℃、防水モデル:~200℃動作可能)

    丸型コネクタ真空機器蒸着装置
半導体3.png

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

半導体3.png
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基本情報

【特長】 ●高密度・・・アプリケーションの省スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とするコネクタ。 ●高電圧・・・『最大50kVDCまで』の様々なタイプの高電圧コネクタ。        ラインナップには、単極シールドコネクタ(同軸型ケーブル用)だけでなく、多極高電圧ソリューション(最大21極)と複合構成があります。 ●真空・・・・ラインナップは、「真空気密レセプタクル」と「真空フィードスルーカプラー」があります。        これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズでの提供が可能であり、標準型タイプは『80℃まで』の温度で使用可能です。 ●高温・・・・非防水モデルの場合は、『250℃まで』。        防水モデルの場合は、『最高200℃まで』の温度で動作可能です。 ●小型同軸・・10cm平方あたりソケット50個を実装可能の「00.250シリーズ」と「01.250シリーズ」は50Ωの同軸コネクタ。        LEMOが開発したセルフラッチングシステムを使用し、軸方向の抜き差しだけですばやく確実な挿抜が可能です。 【詳しくは、カタログをダウンロード、お問合せ下さい。】

価格帯

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納期

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用途/実績例

【主なアプリケーション分野】 高密度・・・スパッタリング装置       ドライエッチング装置など 高電圧・・・イオン注入装置       高電圧/高周波電源装置など 真空・・・・ウェハハンドリング       セラミックヒータなど 高圧・・・・セラミックヒータ       ドライエッチング装置など 小型同軸・・各種センサ       電子ビーム描画装置など

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LEMO■半導体製造装置用コネクタ

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

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LEMO■水中コネクタ(03 / V / Wシリーズ)

LEMO■水中コネクタ(03 / V / Wシリーズ)

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当社は、「心の通うサービスと新しい情報をお届けするコネクタのコーノ」を 基本理念にお客様にご満足いただけるサービスを第一に、 新技術を結集したコネクタの数々をお届けしてまいりました。 これからも全国に広がる販売ネットワークをもって、 お客様により安心してご使用いただけるよう、充実したフォロー体制・ 徹底したサービスの実施に努めるとともに、お客様の声をより多く吸収し より早く反映した技術商社を目指し、総力を挙げて取り組む所存でございます。 今後とも一層のご鞭撻とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。

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