装置用バルブ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【資料】半導体製造工場の装置、設備で使用されるバルブのご紹介

成膜からエッチング、洗浄まで！各工程で求められるバルブの条件と製品例を紹介

半導体製造工場の装置・設備ごとに使用されるバルブについて まとめた技術資料です。 成膜装置、エッチング装置、洗浄装置といったプロセス装置から、 シリンダーキャビネット、ガス精製装置、液体供給システム、VMB、 除害装置、ユーティリティ配管などの設備まで、各工程でバルブに 求められる条件と当社製品例を掲載しています。 製品選定の参考としてぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■成膜装置(枚葉式/バッチ式/縦型)で使用される製品 ■エッチング装置の役割と使用されるバルブ ■洗浄装置の役割と使用されるバルブ ■成膜工程を支える設備・装置に使用されるバルブ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。