成膜からエッチング、洗浄まで！各工程で求められるバルブの条件と製品例を紹介
半導体製造工場の装置・設備ごとに使用されるバルブについて まとめた技術資料です。 成膜装置、エッチング装置、洗浄装置といったプロセス装置から、 シリンダーキャビネット、ガス精製装置、液体供給システム、VMB、 除害装置、ユーティリティ配管などの設備まで、各工程でバルブに 求められる条件と当社製品例を掲載しています。 製品選定の参考としてぜひご活用ください。 【掲載内容(一部)】 ■成膜装置(枚葉式/バッチ式/縦型)で使用される製品 ■エッチング装置の役割と使用されるバルブ ■洗浄装置の役割と使用されるバルブ ■成膜工程を支える設備・装置に使用されるバルブ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
KITZ SCTは、金属加工技術や溶接技術に加え、広々としたクリーンな環境スペース、超精密洗浄システム、そして独自に開発した超精密研磨技術など、極めて幅広い技術をクロスオーバーさせ、真空から高圧システムまでの各種半導体製造用配管部品の開発製造から販売サービスまで行っています。 また、ISO規格、高圧ガス認定をはじめとし、厳重な品質管理システムを取り入れ、素材の分析評価からプロセス/完成品に至るまでのあらゆる分析評価で総合的なクリーン化を目指し、常に時代のニーズにお応えしてまいります。
