薬液補充ポンプ CFD 『半導体プロセスの強酸・強アルカリ補充』
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。
イワキ薬液補充ポンプ CFDは、高精度な薬液注入が可能で、半導体製造プロセスの強酸・強アルカリ補充に最適です。 【特長】 ●優れた精度で薬液を正確に注入、ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。 ●強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応する高い耐食性。 ●圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。 ●サイホン防止機構により、薬液の流出を防止。 ●幅広い吐出量範囲をカバー。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社イワキ
- 価格：応相談
