【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質
真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化するか検討
真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、 非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ（172nm）を照射。 赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUVの 照射に伴うPVA膜の化学状態の変化を観測しました。 【特長】 ■はじめに ■実験 ■結果と考察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クォークテクノロジー
- 価格：応相談
