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高分解能、高速応答性、省スペース！制限のない可動範囲と高い応答性！
『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる 超音波モータ（ピエゾモータ）です。 速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な 摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。 単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで 各種ラインアップ。真空仕様品もございます。 【特長】 ■10nmのステップ分解能 ■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現 ■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲 ■制限のない可動範囲と高い応答性 ■4～32Nの抜群の駆動力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。 こちらも、お気軽にお問合せください。
重たいモノも複数の超音波モータでトルクを増やし、高速移動と高精度位置決めを両立します。
Nanomotionの超音波モータ「SE」「HR」は、真空中でも使える高速移動（最速500mm/sec）と高精度な1nm位置決めが可能な製品です。 さらに特徴的なのは駆動力。HR8モータはひとつで最大32Nのトルクがあります。 たとえばHR8モータを4つ使ってトルクを128Nすることができ、ステージをいくつも重ねたり、重たい積載物を移動させることも可能です。 ※ペイロード荷重は、移動速度や精度、ステージの大きさなど条件により大きく変わります。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。 ■電子ビーム・イオンビーム（FIB）用ステージ 検査用4 軸(X-Y-Z-θ)で、真空仕様、非磁性対応。 1nm の高分解能で6nm 以下の位置安定性を実現。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 10nmの精度を実現し、安定した低速度実現（200nm/sec）しています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。
