超音波映像装置
MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置。試作品の接合界面評価から量産品の全数検査まで
『超音波映像装置』は、MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置です。 日立ハイテクは、開発・試作～少量生産向けの「FineSATシリーズ」から ウェハ全自動検査向けの「Wafer LINE」まで対応が可能。 豊富なオプションでお客様のシチュエーションにマッチした ご提案をさせていただきます。 【特長】 ■解析機能を高めた64bit処理システム 標準仕様で最大4億点、オプション仕様で最大20億点の測定が可能 ■最大走査速度2 000mm/secの高速スキャナ、 新超音波パルサーの採用により大幅に測定時間を短縮 ■新開発の高周波プローブ（400MHz）、短焦点距離から長焦点距離まで、 豊富なプローブラインアップにより様々なウエハに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社日立ハイテク
- 価格：応相談
