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超音波洗浄機(多槽) - 企業1社の製品一覧

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自動式超音波洗浄装置

~洗浄から乾燥まで精密な洗浄を~

●洗浄と乾燥に必要な各機能を個別に取りまとめております。 ●要求される洗浄内容に応じて多槽から単槽まで構成を自由に組み換え可能。 ●ヘッド型のトラバーサがワークを自動搬送。 且つ、洗浄液の中にワークを沈めたり、上げたりする揺動機構が可能であり、 定在波のムラに関係なく、しっかりと洗浄を行います。 ●各槽毎に洗浄される槽とは別にリザーブタンクが設けてあり、  オーバーフローした洗浄液はフィルタで濾過します。 ●求められる精度では、すすぎにイオン交換樹脂による純水を採用致します。 電気伝導率測定器を装備する事で純水精度も管理出来ます。 ●乾燥は、エアーノズルは上下に動く為、水滴を満遍なく飛ばしつつ、ミストレーサーで室内をカラっとした状態に近づけます。

  • ウエハー

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