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出力が低い所でも安定した性能を維持！繊細な部品洗浄にも適しています。
半導体製造工程において「高周波洗浄ユニット」を ご提案いたします。 スパッター装置や、CVD装置などをお使いのお客様で、冶具の再生を メーカー等に依頼されていらっしゃる方も多いと思います。 特定のお客様では、超音波で部品にダメージを与えてしまうケースがあります。 当社の超音波は、出力が低い所でも安定した性能を維持できるので そのような、繊細な部品洗浄にも適しています。 希少金属や、金などをより多く回収し、同時に冶具のクリーン度、 金属イオンの完全除去など様々な周波数の超音波を駆使して 洗浄品質向上をお手伝いします。 【特長】 ■洗浄槽が大型になるケースが多い洗浄槽内で、均一なパワーの分布を実現 ■幅広い出力調整幅で洗浄力を最適化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サブミクロンレベルのパーティクル管理超精密洗浄技術！4面オーバーフロー
『vertiflow』は、超性精密洗浄に不可欠なサブミクロンコンタミ粒子の 管理システム(Patent Pending)です。 タンク底面より高性能フィルターでろ過された大容量洗浄液供給。 タンク内の特殊機構により槽内に分布するコンタミを瞬時に浮上オーバーフロー。 超音波強度はタンク内の特殊機構により大容量の濾過循環下でも高効率な 発振を行います。 【特長】 ■大容量の循環は槽底面から導入 ■タンク下部に特殊基1口を施す ■タンク内の液体の流れが底面から上部に向かい均一化 ■超音波振動子はタンク両側面に設置、超音波は大量の循環下でもより効率よく作用 ■除去されたコンタミは効率よく浮上し除去される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各槽に脱気機能装備！乾燥は時間＋真空度で制御する炭化水素洗浄について解説
当資料では、炭化水素洗浄システムについて、詳しく解説しております。 設備の特長をはじめ、標準的なシステムフロー、安全面、 自動消火設備、システム例についてご紹介。 その他、選定前に読んでおきたい超音波洗浄の豆知識や、 高周波洗浄ユニット総合カタログも掲載しております。 【掲載内容(一部)】 ■設備の特長 ■標準的なシステムフロー ■安全面 ■自動消火設備 ■システム例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
