楕円振動切削装置
単結晶ダイヤモンドバイトによる変動量10nm以下の超精密切削加工！
・超精密・微細加工に適した楕円振動切削加工装置として、1〜2μm程度の振幅で39.8kHzの高周波数において、振動軌跡を超精密に安定化（変動量10nm以下）し得る高精度楕円振動制御装置を開発しました。 ・約40kHz振幅2.5×2.5μmp-pの真円振動で3日間という長時間に亘って安定して継続し、発熱も極わずかであることを確認しました。 ・構造を簡素化、且つ高剛性化を図り、更に振動子ケース内及び刃先部分を冷却空気が流れて、全体の温度上昇を抑制する空冷装置を設け、小型軽量化したケースを完成させました。 ・人為的な微調整をほとんど必要とせず、実用的な高振幅の楕円振動を長時間安定して制御することが可能になり、従来の単振動型超音波振動切削装置と同じ感覚で楕円振動切削を扱えるようになりました。 ※詳細はお問い合わせください
- 企業：多賀電気株式会社
- 価格：応相談
