超高精度6軸 Alignment Stage
XYZ θx θy θzの6軸アライメントが可能
駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、 これまでのRSTアライナーでは別途追加となっていた昇降·チルトの駆動が可能になりました。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
超高精度軸 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
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XYZ θx θy θzの6軸アライメントが可能
駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、 これまでのRSTアライナーでは別途追加となっていた昇降·チルトの駆動が可能になりました。
