6軸制御ユニット【生産製品の品質を向上】
6軸制御ユニットで10nmオーダのアライメントを実現
高精度センシング機能と、精密アライメント機構による、10nmオーダの平行度調整を可能にする6軸制御ユニット。 従来まで機構では、0.1umオーダの精度であったが、特殊なセンシング機構と、精密アライメント機構を用いることで、10nmオーダのアライメントを実現しております。 生産製品の品質を向上させることが、より高精細なプロセスでのアプローチを可能にします。
- 企業：株式会社大橋製作所 機器事業部
- 価格：応相談
