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遠心ポンプ(薬液) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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コンタミ・メンテ・振動を最小化 ベアリングレス磁気浮上遠心ポンプ

【国内正規代理店】LEVITRONIXベアリングレスポンプ 先端プロセスの要求に対応する送液性能と制御性能を実現!

高性能な3つの“Minimal(最小化)”を実現! “Minimal” コンタミネーション 接液部に発塵元となるベアリング・軸受・開閉バルブなどの部品を持たない非接触型構造となっています。そのため、ポンプ起因のコンタミネーションの心配がありません。 また、インペラとケース材料には、耐薬液性の高純度フッ素樹脂を使用しており汚染の心配もありません。構造的に、コンタミネーションリスクが最小限に抑えられています。 “Minimal” メンテナンス ポンプ内部には摺動箇所がなくそのため、メンテナンスが必要となる摩耗部品が使われていません。また、インペラの駆動も磁力制御になるので、通常の機械制御で必要となる消耗部品が使われていません。 これらの構造の特徴から、メンテナンス頻度は最小限に抑えられています。 “Minimal” 脈動・振動 インペラをロータとして磁力制御により回転させ送液しているので、脈動・振動がありません。また、摺動部が無いためノイズ音も無く静穏な環境が確保できます。 高い回転への制御性能を有しているので高精度な送量を実現しています。

  • CMP装置

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