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遠赤外ヒータ×株式会社美鈴工業 - 企業1社の製品一覧

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遠赤外線ヒーター

真空状態やクリーンルームでも使用可能!設計の自由度が高い遠赤外線ヒーター

基板にステンレスを採用することで、セラミックヒーターの高い応答性のままで、セラミックヒーターにはできなかった大判化を実現したヒーターです。その他次のような特徴があります。 ●クイックレスポンス(応答性) ●高い効率のIR(遠赤外線)特性が得られる ●設計の自由度が高い(形状・W密度) ●クリーンルームでの使用が可能 ●真空中での使用が可能

  • その他半導体製造装置
  • その他ヒータ

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