【半導体業界向け】振動を抑える部材選定とは？鋳物が選ばれる理由
位置決め精度を左右する「減衰性」。鋳鉄の約10倍の振動吸収力を持つミネラルキャスティングで、整定時間を劇的に短縮する。
高スループット化のニーズが拡大する半導体製造装置で、「振動が収まらずタクトタイムが伸びる」と悩んでいませんか？ 微細化が進む現場では、部材自体の振動吸収力が歩留まりを左右します。 ■振動が収まらない本質的な原因 鋼材は剛性が高いものの、エネルギーを吸収する「減衰性」が低いため、一度発生した振動が長く残ります。 ■解決策：ミネラルキャスティング 樹脂と骨材(砕石)を固めたポリマーコンクリートの一種です。 鋼材（SS400等）の約100倍、鋳鉄（FC250）の約10倍という圧倒的な振動減衰性を持ち、揺れを瞬時に抑制します。 ■導入メリット 装置のベース(架台)にミネラルキャスティングを採用することで、装置精度やスループットが向上します。 空間制約が厳しいコラム等では、高剛性な鋳鉄と高減衰なミネラルキャスティングのハイブリッド構造を採用することで、整定時間を従来構造から約60%短縮することに成功した事例もございます。 装置のポテンシャルを引き出すには、材料選定からの見直しが不可欠です。 ヒノデグループが、最適な減衰ソリューションをご提案します。
