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【半導体業界向け】振動を抑える部材選定とは?鋳物が選ばれる理由

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最終更新日:2026年07月28日

日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
日之出水道機器(ヒノデホールディングス)株式会社 先端技術開発ソリューション事業部産業機械マーケティング
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位置決め精度を左右する「減衰性」。鋳鉄の約10倍の振動吸収力を持つミネラルキャスティングで、整定時間を劇的に短縮する。

高スループット化のニーズが拡大する半導体製造装置で、「振動が収まらずタクトタイムが伸びる」と悩んでいませんか? 微細化が進む現場では、部材自体の振動吸収力が歩留まりを左右します。 ■振動が収まらない本質的な原因 鋼材は剛性が高いものの、エネルギーを吸収する「減衰性」が低いため、一度発生した振動が長く残ります。 ■解決策:ミネラルキャスティング 樹脂と骨材(砕石)を固めたポリマーコンクリートの一種です。 鋼材(SS400等)の約100倍、鋳鉄(FC250)の約10倍という圧倒的な振動減衰性を持ち、揺れを瞬時に抑制します。 ■導入メリット 装置のベース(架台)にミネラルキャスティングを採用することで、装置精度やスループットが向上します。 空間制約が厳しいコラム等では、高剛性な鋳鉄と高減衰なミネラルキャスティングのハイブリッド構造を採用することで、整定時間を従来構造から約60%短縮することに成功した事例もございます。 装置のポテンシャルを引き出すには、材料選定からの見直しが不可欠です。 ヒノデグループが、最適な減衰ソリューションをご提案します。

    その他機械要素
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【半導体業界向け】振動を抑える部材選定とは?鋳物が選ばれる理由

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基本情報

ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方  ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。  ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方  ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。  ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方  ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。  ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で   350社以上のお客様との実績あり。  ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。  ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。

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用途/実績例

半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング)

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【材料開発】鋳鉄×ミネラルキャスティング ハイブリッド技術

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【ニュースリリース】独RAMPF Groupと日之出水道機器が事業提携 ミネラルキャスティングの国内での開発・製造・販売で

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ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置(架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等) 工作機械(鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム) 産業用ロボット(ベース、ケーシング、アーム) 輸送用機器・建設機械(エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品) 造船・舶用機器(シーブ、ケーシング) ■ 対象工程・部品 工程: 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質: 鋳鉄(FC/FCD)、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他

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