開発露光ツール - メーカー・企業と製品の一覧

フォトレジストの研究開発用露光ツール　

フォトプロセス解析用露光装置シリーズ

＜主なレジスト解析露光装置ラインナップ＞ ■UVES-2000 　g線/h線/i線/248nmおよびブロード光対応解析露光装置） ■VUVES-4700i 　248nm、193nm露光および193nm液浸露光に対応 ■EUVES-7000 　EUV光源を搭載し、13.5nmオープンフレーム露光が可能

• 企業：リソテックジャパン株式会社
• 価格：応相談

• マイクロスコープ
• 分析機器・装置