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除去フィルタ(セル) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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半導体産業工程用フィルタ 有機溶剤用金属不純物除去フィルタ

一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。

Iongard SL purifier  イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier  Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 Iongard Polar Purifier  極性有機溶剤に有効な金属除去 Cemdeion Purifier  表面修飾型テフロン基膜。最終洗浄液として使用されるIPAや、耐薬品性を要求する有機溶剤に対して使用可能

  • レジスト装置
  • エッチング装置

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