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半導体産業工程用フィルタ 有機溶剤用金属不純物除去フィルタ

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最終更新日:2022年03月08日

日本コベッタ株式会社
日本コベッタ株式会社
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一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属除去膜まで幅広いラインナップ。

Iongard SL purifier  イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier  Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 Iongard Polar Purifier  極性有機溶剤に有効な金属除去 Cemdeion Purifier  表面修飾型テフロン基膜。最終洗浄液として使用されるIPAや、耐薬品性を要求する有機溶剤に対して使用可能

    レジスト装置エッチング装置
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半導体産業工程用フィルタ 有機溶剤用金属不純物除去フィルタ

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詳細は弊社まで問い合わせください。 各フィルタは各種カプセルやカートリッジで供給可能。 多くの既存品とは互換性あります。 各種アプリケーションに合わせてご提案できます。

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用途/実績例

Nylonpolarの適用例  PGMEA(Lithography用薬液に幅広く使用されている)からの金属除去  PAG(酸発生剤)や樹脂を含む有機溶剤からの金属除去 Chemdeion  IPA溶剤からの金属除去 Iongard polar Purifier  NMP溶剤からの金属除去

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日本コベッタ株式会社

日本コベッタ株式会社

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Cobetterは、各種精密濾過膜、ナノファイバー、限外濾過膜の研究開発により、世界中の半導体集積回路製造およびバイオ製薬産業に革新的な濾過・精製ソリューションを提供する世界最先端の新規技術を有する会社です。 中国は浙江省杭州に本社を置き、中国上海、日本、韓国、台湾、シンガポールの5箇所に子会社を置き、106カ国にわたる28000社以上の顧客にサービスを提供しております。日本コベッタは2019年2月に設立された小会社の一つであります。 現在、従業員4000人以上でその1000人以上はエンジニアが占め、現在十数種類以上の革新的濾過材を独自に開発し、300件以上の特許技術を所有しております。また、濾過材料の開発に加え、多様な用途に適したフィルタパッケージの開発、シングルユースバック(2D/3D)、クリーンドラムなど流体処理製品の生産からSUSハウジング、ろ過システムの設計・製造・検証まで一貫した濾過・分離産業チェーンを備えています。

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