雰囲気恒温器 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

無酸化雰囲気恒温器『IPHH-202M/IPHH-202MS』

より厳密な雰囲気制御に対応！作業者の安全を確保しつつ、プロセス時間を短縮

当社で取り扱う無酸化雰囲気恒温器『IPHH-202M/IPHH-202MS』について、 ご紹介いたします。 標準「IPHH-202」を半導体業界向けにカスタマイズ。 生産工程における低酸素アニールに必要な機能を盛り込みました 酸素濃度100ppm以下の極低酸素環境で、300℃までの高温熱処理を 安定して実施できます。 【特長】 ■低酸素状態への到達後に昇温を開始。ワークの酸化を防止 ■設定酸素濃度へ到達後は、窒素流量を削減し省エネに貢献 ■窒素ガスの導入量は大/小の2系統装備 ■内槽床面下部へ外気を送り込み、間接空冷による熱交換を行う ■槽内の低酸素状態を維持しながら、温度降下時間を大幅に短縮 ■プログラムの終了時に圧縮空気を導入し、炉内の酸素濃度を短時間で復帰 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。