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有機半導体の損傷なし＆高分解能！研究に耐える精度でLUMO準位測定ができる！
低エネルギー逆光電子分光装置『LEIPS』は、 有機半導体を損傷させることなく高精度なLUMO準位測定ができる低エネルギー逆光電子分光装置。 照射するエネルギーを分子の共有結合より低くすることで、試料の損傷を回避。 また光検出に高性能フィルターを採用し、分解能0.5eV以下を達成しました。 従来機「IPES」をベースに、これまで抱えていた課題を解決しています。 【特長】 ■高感度 ■高分解能0.5eV以下 ■有機半導体の開発や性能UPに貢献 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
AES：オージェ電子分光法
AES分析では、微小異物の最表面の元素組成評価を行うことが可能なため、微小領域における異物分析に有用です。しかし、電子線等のダメージの影響により異物が変化したり消失してしまう可能性があります。 特に、ハロゲン元素等を含む場合は、その影響を強く受けてしまうことがあり注意が必要です。SEM観察時やAES測定時に異物が消失してしまった事例として、Siウエハ上のNaCl粒子について、AES分析を行った結果を示します。
エネルギー分解能、装置感度、装置サイズ等のトレードオフ条件を同時に満足する、電子分光器の次世代技術
電子分光は、光や電子等のエネルギー線を物質に照射して外に飛び出してきた電子のエネルギー分析を行うことにより、物質の電子構造を調べる手法である。電子エネルギーの大きさに依存して、飛行時間型や静電偏向型等の各種電子分光器が用いられているが、得られるエネルギー分解能には現状、限界がある。本技術は、まったく新しい計測原理に基づく、比較的小型サイズの電子分光器である。その最大の特徴は、装置高感度を維持しつつ、エネルギー線の種類や電子エネルギーの大きさを問わず、世界に群を抜く超高分解能での測定を可能とすることである。
電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得られます
・固体材料の表面（深さ数nm）の定性・定量が可能 ・微小領域（数十nm～サブミクロン程度）の定性・定量が可能 ・主成分元素の深さ方向分析・線分析・面分析の測定が可能 ・SiやAl等、幾つかの元素については酸化物状態及び金属状態の評価が可能 ・SEM像による着目箇所の特定が可能
