【分析事例】バイポーラトランジスタの拡散層構造評価
pn判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能
市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。 エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。 AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談
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pn判定を含む拡散層の構造を明瞭に観察可能
市販LSI内のNPNバイポーラトランジスタについて全景からエミッタ部の拡大まで詳細に観察が可能です。 エミッタ電極の中心を通る断面を露出させ、AFM観察、SCM測定を行った事例です。 AFM像と重ねることで、配線との位置関係がはっきりします。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。
【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム(DDS:Drug Delivery System)に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates(ADC等)が挙げられる。その中でも当社はリポソームの分析・評価技術の確立に注力しており、難易度が高いTEM(透過型電子顕微鏡)、AFM(原子間力顕微鏡)を中心にリポソームの分析事例を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.DDSによる基礎技術と各種キャリアの特徴 3.リポソームの分析・評価事例 4.おわりに
ゲート・ソース層・ボディ層の位置関係がわかります
市販パワートランジスタ(DMOSFET) について、ポリSi ゲートとn型ソース層およびp型ボディ層の形状・位置関係を調べました。 AFM像と重ねることでゲートとの位置関係も知ることができます。
イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法:TEM・AFM 製品分野:酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的:形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
前処理・分析技術を駆使して課題解決!種々の材料解析と分析評価で開発を支えます
当社は、データ解析(AI/機械学習等)を活用し、製品の付加価値向上や 業務改善をサポートいたします。 目前にある課題やお困りごとを、材料開発、分析、データ解析の専門家が スピーディーに解決。 専門家集団がプロジェクトを組みワンストップでご要望にお応えします。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【当社の主な保有設備】 ■FE-TEMTEM(3D、プリセッション)、FE-SEM 、FE-EPMA ■FT-IR、ラマン、NMR、AFM、レーザー顕微鏡 ■X線CT、XPS、XRF、XRD ■TG/DTA(水蒸気ガス化)、DSC ■GC(MS)、LC(MS)、TOFMS、HPLC、IC、ICP、GPC、DART、AAS ■VMS等各種磁気測定装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
30nmから5μmの切片作製が可能!材料系解析事例を複数ご紹介した資料です!
当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った材料系解析を まとめた事例集です。 「ウルトラミクロトーム」では、生物組織、金属メッキ層や無機蒸着 層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野における高品質な超薄切片 および断面作製に適応可能です。 当社では、受託分析を始めました。協力機関とタイアップして材料分析を 実施致します。 【掲載事例】 ■リポソームの構造解析 ■HIPSの構造解析 ■レンズ断面の構造解析 ■菓子袋の断面観察 ■分散法による金属粒子の形態観察(金属微粒子/金属担持カーボン) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。