東レリサーチセンターの会社概要

【バルク体の力学特性評価(材料試験)】 材料の機械的特性評価は、設計・シミュレーションなどを行うための物性値の取得や材料の劣化現象の解明にも一助となります。 しかしながら、正確な物性値を得ることができなければ誤った結果が導かれてしまいます。本講座では、固体材料の機械特性の測定方法（引張・曲げ・圧縮などの静的材料試験）について解説し、各種測定事例と、近年機械特性評価の分野で利用されているデジタル画像相関法について紹介します。 【微小領域の力学特性評価(ナノインデンテーション)】 ナノインデンテーション法は、従来の硬さ試験の荷重・変位分解能を向上させた手法であり、薄膜や特定微細部位の機械特性評価方法として広く用いられています。近年では技術の進歩により、測定環境制御機能やAFM機能を活用したナノインデンテーション測定が行われるようになってきました。本講座では、基本原理や測定モードの解説と、各々の測定事例について紹介します。

高性能な半導体デバイスを作製するために、デバイス作製に用いるそれぞれの材料の電気特性および物性を理解し、制御する必要がある。 本講座は2部構成とし、前半は半導体デバイスの基礎的な電気特性である容量-電圧(C-V)特性や電流-電圧(I-V)特性の評価に水銀プローブを適用した事例を紹介し、各種物理分析と組み合わせて半導体デバイスの電気特性に影響を及ぼす膜質との関係を示す。 後半では半導体デバイスの特性に影響を及ぼす欠陥を電気的に検出する手法であるDeep Level Transient Spectroscopy (DLTS)について、半導体や絶縁膜/半導体界面の欠陥を評価した事例を踏まえてその有用性を紹介する。

近年、ナノスケールでの材料評価ニーズの高まりに伴い、表面・界面の微細構造や物性を直接的に可視化できる走査型プローブ顕微鏡（SPM）の重要性が増している。SPMはAFM（原子間力顕微鏡）に代表される、探針と試料表面の相互作用を利用して高さや物性を測定する顕微鏡技術である。 本講座では、市販AFM装置をベースに、SPMの基本構造や測定原理を体系的に整理するとともに、装置の要素技術、カンチレバー選定、前処理、測定パラメータの考え方を解説する。さらに、機械物性・電磁気物性・化学物性評価といった応用事例も紹介し、形状観察にとどまらないSPM活用の実践的理解を目的とする。