東レリサーチセンターの企業情報

高性能な半導体デバイスを作製するためには、デバイス形成に用いるそれぞれの材料の電気特性および物性を理解し、制御する必要がある。半導体デバイスの微細化と複雑化が極限まで進んでも、材料固有の特性を最大限活用することに変わりがないからである。本講座は、2部構成とし、前半は半導体デバイスに用いる絶縁膜や半導体の基礎的な電気特性である容量-電圧(C-V)特性や電流-電圧(I-V)特性を評価する上で有用な水銀プローブについて紹介し、各種物理分析と組み合わせて半導体材料の電気特性に影響を及ぼす膜質との関係を示す。後半では半導体デバイスの特性に影響を及ぼす欠陥を電気的に検出する手法であるDeep Level Transient Spectroscopy (DLTS)について、半導体や絶縁膜/半導体界面の欠陥を評価した事例を踏まえてその有用性を紹介する。

有機化合物の構造を決定するためには、その化合物の分子量を知ることは極めて重要であり、質量分析法は、IRやNMRと並んで有機化合物の構造解析に必要不可欠な手法です。ただし、質量分析を行うためには、化合物をイオン化しなければならず、その化合物の性質や分子量によって適切なイオン化法を選択する必要があります。本講座では、質量分析の原理、装置構成や各種イオン化法について、工業材料を分析する際のイオン化法選択の方法や注意点を含めて解説します。さらに、マススペクトルの解析法についても基礎的な演習を交えながら講義します。

ガスクロマトグラフィー（GC）は、揮発性有機化合物を分析するための代表的な手法で、これまでも、これからも、工業、環境、医薬など様々な分野で活躍し続けます。近年のエレクトロニクス技術の進歩により、特にGC/MS（ガスクロマトグラフ質量／分析計）は、以前と比べて大幅に高精度・高感度になり、操作も簡単になりました。そのため、経験が少ない人でも使い易く、質量スペクトルによる化合物の同定や、ピーク面積からの定量も、迅速かつ容易に行えるようになっています。一方、「使うことはできても、原理や装置の仕組みといった基本的な知識には詳しくない」という人が多く、前処理を含めた新分析法の開発で、GCの性能を十分に引き出せていないこともあります。 本講座では、GCをより深く理解し、正しく使いこなすために必要な基礎知識を学ぶことを目的としています。基本的な原理や専門用語、装置の構造・機能について解説するだけでなく、抽出や誘導体化といった前処理の技術、それらを活用した分析法の設定手順、さらにはトラブルシューティングについても分かりやすく説明します。