更新日： 集計期間:2026年08月19日～2026年09月15日
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金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察および構造解析に関する事例を多数ご紹介します！
当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。 他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■線材（ばね材）の金属組織観察 ■2相ステンレスの相解析 ■STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価 ■サマリウムコバルト磁石のEBSD測定 ■STEMによるコネクタ端子接点不良解析 ■生体試料（モルフォ蝶鱗粉）の断面観察 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができる電子顕微鏡観察！金属材料全般に適用
『透過型電子顕微鏡（TEM）』は、高い加速電圧の電子線を試料に照射し、 試料を透過した電子線を電磁レンズで拡大することによって透過電子像や 電子線回折像を得ます。 透過電子像では結晶粒界、欠陥、ひずみ、析出物の有無などが観察でき、 電子線回折像からは結晶性物質の同定や結晶方位の解析ができます。 【特長】 ■1,000～1,000,000 倍での観察 ■EDS 分析による超微小領域の元素同定（分析元素：C～U の定性・半定量分析） ■結晶性物質の同定や結晶方位の解析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
金属の腐食による変色を観察、分析！変色原因調査事例をご紹介
当社にて、日常によくみられる金属の腐食による変色を、観察、分析した 事例をご紹介いたします。 走査電子顕微鏡(SEM)にて観察したところ、腐食の痕跡を確認。 本件の変色は、ニッケルめっき下の鉄材が腐食し、その生成物である錆が 表面に析出してきたために生じたものと推定されます。 【事例概要】 ■変色部観察：変色部を拡大 ■拡大観察と元素分析：更に拡大観察、変色部を元素分析 ■構造解析：ラマン分光による構造解析 ■変色原因：変色は主に鉄の腐食"赤錆" ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
30nmから5μmの切片作製が可能！材料系解析事例を複数ご紹介した資料です！
当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った材料系解析を まとめた事例集です。 「ウルトラミクロトーム」では、生物組織、金属メッキ層や無機蒸着 層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野における高品質な超薄切片 および断面作製に適応可能です。 当社では、受託分析を始めました。協力機関とタイアップして材料分析を 実施致します。 【掲載事例】 ■リポソームの構造解析 ■HIPSの構造解析 ■レンズ断面の構造解析 ■菓子袋の断面観察 ■分散法による金属粒子の形態観察（金属微粒子/金属担持カーボン） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
チップ抵抗器の断面観察と銅配線部の断面観察等に好適な観察方法をご紹介します！
観察装置選択のご参考となるよう、金属顕微鏡・W-SEM・FE-SEMの 見え方の違いをご紹介します。 チップ抵抗器の断面観察の際は、金属顕微鏡だと低倍率で 観察しづらい部位がありますが、SEM観察なら焦点深度が 深いため低倍率でも平坦度の高い画像が得られます。 銅配線部の断面観察の際は、W-SEMでも銅-樹脂界面や クラック内部の状態が観察可能ですが、FE-SEMなら 結晶粒や接続界面の微小ボイドまで鮮明に観察可能です。 【比較】 ■チップ抵抗器の断面観察 金属顕微鏡vs W-SEM 観察像の比較 ■銅配線部の断面観察 W-SEM vs FE-SEM 観察像の比較 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
金属材料中の転位の観察にはTEMが用いられてきましたが、SEMを用いた転位の観察ができるようになりました。
金属材料の変形や破壊のプロセスの本質的な理解には、転位の状態を可視化することが重要となっています。従来、金属材料中の転位の観察にはTEM（透過電子顕微鏡法）が用いられてきましたが、近年ではSEM（走査電子顕微鏡法）による観察も試みられていました。今回、当社でもこのSEMを用いた転位の観察ができるようになりました。
走査型電子顕微鏡（ＦＥ-ＳＥＭ）による表面観察を受託いたします：分解能（感度等）：～２０万倍
■試料をお送り頂きますと、試料台作成～画像撮影～画像ファイル（jpeg）変換を行い、お送り致します。 ■格安料金を設定しておりますので、ぜひご利用下さい。
細く絞った電子線を試料に照射！結晶方位や結晶構造の解析もできる電子顕微鏡！
『FE-SEM（電界放射電子銃式走査型電子顕微鏡）』は、汎用SEMよりも更に細く 絞った電子線を試料に照射、走査することによって、より鮮明な拡大像などが 得られる装置です。 また、細く絞った強い電子ビームを利用して結晶方位解析法（Electron Back-Scatter Diffraction；略してEBSD）を用いると、結晶方位や結晶構造の解析を行うことも できます。 【適用対象】 ■金属材料全般 ■セラミックス ■繊維（蒸着処理必要） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
難電導性試料の無蒸着観察可能！繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡検査
『走査型電子顕微鏡（SEM）』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、 二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示する ことによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。 像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、 難電導性試料の無蒸着観察も可能です。 【観察項目】 ■5～300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散型Ｘ線分析装置（EDS）による元素分析（B～U） ■微小領域の元素同定（定性分析・半定量分析） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ：磁気トンネル接合(Magnetic tunneljunction）部の高分解能(HR)-TEM観察を行ったデータを紹介します。 このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。
加熱in-situ TEMを用い、半導体デバイスの熱処理中の材料の構造変化をnmレベルで可視化、プロセス開発に役立てる事例紹介。
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化に関する新たな知見を得て、膜質制御などプロセス開発に役立てることが可能となる。本稿では、加熱in-situ TEMを用いて、(1)結晶構造解析を併用したアモルファスシリコン膜の結晶成長メカニズム解析、(2)元素分析を併用した金属積層膜の熱挙動把握、(3)平面での薄膜ルテニウム膜の結晶成長過程の観察を行った事例を紹介する。 【目次】 １. はじめに ２. 加熱in-situ TEMの概要と特長 ３. 加熱in-situ TEMの解析事例 ４. まとめ
InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ※High-Angle Annular Dark-Field： 原子量（Z)に比例したコントラストが得られます。
1μm強の亜鉛めっきの上にクロメート層が確認！膜厚測定事例をご紹介
当社にて、クロメート処理膜の膜厚測定を行った事例をご紹介します。 有色クロメートの金属部品についてイオンミリングにより断面加工を施し、 断面を電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)で拡大観察、膜厚を計測。 FE-SEMで膜の断面を観察すると、1μm強の亜鉛めっきの上にクロメート層 が確認されます。更に拡大してクロメートの厚みを測定すると、 420nm程であることがわかりました。 【事例概要】 ■調査試料：クロメート ■断面膜厚計則：クロメート膜厚を計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入などで電極活物質に成分や結晶構造の変 化が生じます。正極活物質として用いられるLi（NiCoMn)O2（NCM）の構造評価として、EBSDにより一次粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li、O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni、Co、Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
数十nmオーダーの狙い精度で数百μm角の断面観察が可能！
弊団では、Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察を承っております。 集積回路、電極やプリント基板、半導体パッケージの電極を 電気的に接続する金属製ボンディングは直径数十μm～数百μm程です。 Xe-PFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)では数十nmオーダーで 加工位置を狙い、数百μm角の断面を作製できるため、 ボンディング中央にて全景を詳細に把握することができます。 【測定法・加工法】 ■[SEM]走査電子顕微鏡法 ■X線CT法 ■[FIB]集束イオンビーム加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
コンパクトで無人運転が可能な新世代のSEMです。
日本電子株式会社 JSM-IT210 走査電子顕微鏡は、日本電子製の据え置き型としては、最もコンパクトな走査電子顕微鏡です。新開発のステージは、5軸移動がすべてモーター駆動となり、より安心でかつ迅速にご使用いただけます。 ○特長 ・試料を入れて、迷わず観察 "試料交換ナビ" ・光学像を拡大すれば、SEM像 "Zeromag" ・観察中も常に元素分析 "Live Analysis" ・多彩な自動測定 "Simple SEM" ・自動測定を強力に支える機能 ・分析をよりスピーディーに ・60 mm2 大口径EDSを標準搭載 ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
活物質表層近傍の組成、結晶構造、化学状態評価が可能！
弊団では、二次電池正極活物質の局所領域評価を承っております。 リチウムイオン二次電池は充放電によるイオンの脱離・挿入や劣化に伴い、 活物質表層の結晶構造や金属元素の価数が変化することが知られています。 局所領域の評価としてTEMを用いて組成、結晶構造、化学状態の評価を行った本事例では、 EDXにより最表層にAlOxがコーティングされていることがわかりました。 また電子回折とEELSにより、活物質の表層と内部では 結晶構造および価数が異なっていることがわかりました。 【測定法・加工法】 ■[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法 ■[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM) ■[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます
FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工（Slice）とSEMによる観察（View）を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます。また、SIM(Scanning Ion Microscope)像についても同様にSlice & Viewが可能です。 ・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、走査イオンSIM(Scanning Ion Microscope)の観察が可能
SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました。
日本電子株式会社 JSM-IT510 InTouchScope 走査電子顕微鏡 走査電子顕微鏡 (SEM) は研究だけでなく、品質保証や製造現場で欠かせないツールなっています。そのような現場では、同じ観察作業を繰り返し行う必要があり、工程の効率化が求められてきました。 JSM-IT510は新たに加わったSimple SEM機能では、SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました。 〇特長 ・Simple SEM 撮影したい視野を選ぶだけ ・安全・簡単！ 試料交換ナビ ・Zeromag 光学像を拡大すれば、SEM像 ・Live Analysis / Live Map 観察中も常に元素分析 ・充実の機能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
LVEM 5 は他に類を見ない「卓上タイプ」「低価格」の「透過型電子顕微鏡（TEM）」。オプションでSEM/STEM追加可能。
【LVEM5の主な特徴】 ◆1台でTEM（電子回析含む）、SEM、およびSTEMイメージングモードが搭載できる汎用性。サンプルの同じ領域を、TEM、SEM、STEMモードを切り替えるだけで観察が可能。（各イメージモード搭載時） ◆抜群の省スペース設計、卓上タイプなので特別な施設も不要。 ◆低電圧（5KV）の為、生体材料観察時に試料へのダメージ軽減及び、染色無しでの観察、軽元素・軽金属の観察に有効。 ◆簡単操作で誰にでも扱える為、専任オペレータは不要。 ◆独自設計の永久磁石レンズは冷却が不要 ◆イオンゲッターポンプの採用によりクリーンで振動が無く、高真空を実現。 ◆簡単に切替が出来るイメージングモード 複数のイメージングモードを切替えて実行出来る為、表面画像と透過画像の両方をキャプチャする事が可能です。 また、カラムを再調整したり試料を調整をすることなく、ワンクリックでモードを切替え使用が出来ます。
試料領域での点分析、線分析、マッピングなどの分析もでき、多機能な成分分析も可能です
一般財団法人東海技術センターは『電子顕微鏡による形態観察・成分分析』を 承っております。 手間と時間のかかる前処理なしで観察ができるため、観察までの時間短縮と 観察後の成分分析の評価がしやすくなりました。 また、形態観察と同時に異なる組成の分布状態がわかる組成観察も可能。 試料中の測定したい2点間の距離計測もできます。 【特長】 ■手間と時間のかかる前処理なしで観察ができる ■形態観察と同時に異なる組成の分布状態がわかる組成観察もできる ■試料中の測定したい2点間の距離計測も可能 ■試料領域での点分析、線分析、マッピングなどの分析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
見えるから、追求したい
日本電子株式会社 JSM-IT710HR 走査電子顕微鏡 ナノメートルオーダーでの分解能や分析性能はもちろんのこと、データを取得する際のスループットも重要視される今、新たに誕生したJSM-IT710HRは、"誰でも簡単に高分解能の画像が撮ることが出来るSEM" をテーマに掲げたJEOLのHRシリーズの4世代のモデルです。自動機能を拡充させた操作性と新しい検出器系を兼ね備えた観察性能の向上させました。 ○特長 ・光学像と連動してSEM像が見える ・高分解能電子銃により、よく見える ・自動測定機能: Simple SEM/EDS ・その場で3D像を構築: Live 3D ・新しい低真空二次電子検出器LHSED ・ショットキーFE電子銃の安定性を従来比 4倍以上に強化 ※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
試料を冷却してSEMで観察できます。
PP3010Tは、含水試料や電子ビーム、真空ダメージを受けやすい試料を凍結させ電子顕微鏡で観察を行う装置です。 大気非暴露で試料の移動が可能なサンプルトランスファーが標準付属。 自動ガス流量コントロール機能やクライオSEMに最も必要な温度コントロール機能を重要視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM観察を行うPP3010T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感な半導体材料などの測定に活用されています。
医学・生物学の分野や、金属、半導体、セラミックスなど様々な分野で活用できます。
ここでは、アズサイエンスおすすめ商品である日本電子株式会社の電子顕微鏡を3製品をご紹介いたします。 ■JSM-IT200 InTouchScope 走査電子顕微鏡 上位機種の機能をよりシンプルに、使いやすくしました。初心者に優しい試料交換ナビで、試料セットから視野探し、SEM画像の観察開始まで容易に行うことができます。分析業務のためのソフトが一つになっています。 ■JCM-7000 NeoScope ネオスコープ 卓上走査電子顕微鏡 「誰でもSEM/EDSを操作できる」がコンセプトで、作業効率の向上、操作の簡便性、分析や計測性能の強化のニーズに応えました。光学顕微鏡の隣に一台置けば、異物分析や品質管理を、よりスピーディーに、より詳細におこなうことができます。 ■JSM-IT510 InTouchScope 走査電子顕微鏡 品質保証や製造現場では同じ観察作業を繰り返し行う必要があり、工程の効率化が求められてきました。JSM-IT510は新たに加わったSimple SEM機能で、繰り返し作業を 「おまかせ」 出来ます。SEMの観察作業をより効率よく、より楽に行えるようになりました。
アズサイエンスおすすめの電子顕微鏡、光電子分光装置、内斜系実体顕微鏡のご紹介
アズサイエンスおすすめ商品の3製品をご紹介いたします。 ◆日本電子株式会社 JEM-1400Flash 電子顕微鏡 高感度sCMOSカメラや超広視野モンタージュシステム、さらには光学顕微鏡画像と電子顕微鏡のリンク機能を拡張させた透過電子顕微鏡です。バイオロジーからナノテクノロジー、ポリマー、最先端材料など幅広い分野で活用されています。 ◆日本電子株式会社 JPS-9030 光電子分光装置(XPS) カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。大学から工場まで幅広く稼動し、材料の研究開発、また品質管理の現場において汎用性の高い分析手法として利用されています。 ◆株式会社ニコンソリューションズ 内斜系実体顕微鏡 SMZ445/460 ニコンの最先端実体ズーム顕微鏡シリーズと同様の優れた光学性能を備えています。樹脂成型品、金属加工部品などの検査‧観察に適した実体顕微鏡です。部品検査や品質管理などのニーズにお応えします。
9月1日グレードアップ 光学像からＳＥＭ観察、元素分析まで 高機能ながらもユーザーフレンドリーな高い操作性
新機能「Live Particle」：粒子のサイズや個数を自動計測することで作業を簡略化 新機能「Live Report」：視野移動をしながらのデータ取得とレポート作成で作業効率アップ 「Zeromag」 ：光学像を拡大すればそのままSEM像が観察できる機能を搭載。サンプルの光学像を取得し、その画像にステージの座標位置を連動させ光学像からSEM像へとシームレスに切り替えます。目で⾒たままの光学像で容易に視野探しが可能です。 「Live Analysis」 ：観察しながら分析も同時に⾏える、観察画面上の元素分布を表示できる「LiveMap」 「インスタント機能」：任意の場所を分析できるの３つのスクリーニング機能 「Live 3D」 ：SEM観察中に三次元観察が可能。 高真空、低真空モード標準搭載 ＜高真空モード＞⾼い倍率で鮮明なSEM観察。電⼦線の散乱を少なくし精度の⾼いEDS分析が可能。観察も分析も質の⾼いデータが出せます。 ＜低真空モード＞ガラスやプラスチックなどの絶縁物試料をコーティングなしで観察、分析できます。
お客様へ丸文通商が操作性抜群の卓上電子顕微鏡をお持ち込みし、覧いただきます
「Zeromag」 ：光学像を拡大すればそのままSEM像が観察できる機能を搭載。サンプルの光学像を取得し、その画像にステージの座標位置を連動させ光学像からSEM像へとシームレスに切り替えます。目で⾒たままの光学像で容易に視野探しが可能です。 「Live Analysis」 ：観察しながら分析も同時に⾏える、観察画面上の元素分布を表示できる「LiveMap」 「インスタント機能」：任意の場所を分析できるの３つのスクリーニング機能 「Live 3D」 ：SEM観察中に三次元観察が可能。 高真空、低真空モード標準搭載 ＜高真空モード＞⾼い倍率で鮮明なSEM観察。電⼦線の散乱を少なくし精度の⾼いEDS分析が可能。観察も分析も質の⾼いデータが出せます。 ＜低真空モード＞ガラスやプラスチックなどの絶縁物試料をコーティングなしで観察、分析できます。 ＪＣＭ７０００を直接ご覧いただける デモンストレーションサービス デモ対象エリア：北陸(富山県 石川県 福井県）甲信(長野県 山梨県)関東(埼玉 群馬 静岡 神奈川)中部関西(岐阜県 滋賀県) のお客様お問い合わせください
ご要望に応じた分析用・観察用の断面サンプルを作製致します。
はんだ接合部断面・溶接部断面の観察や、異物断面の分析、ASSY品の内部の確認などに必要な試料の前処理加工、「対象物の切断→樹脂包埋→研磨」までの試料調整を実施致します。 試料調整だけのご依頼はもちろん、調整後の観察や分析まで一括で承ります。 ・ポリエステル樹脂 大きい製品を埋めるときに使用 樹脂中に塩素を含まない ・アクリル樹脂 透明度が高い 傷が付きにくい ・エポキシ樹脂 硬化収縮率が小さく、ヒビが入りにくい（カタログ値0.5％） 耐熱／耐水／耐薬品／耐候性に優れている 非着体に対し、接着力が優れている 樹脂中に微量に塩素が含まれている ・ポリッシャー 断面サンプル作製時間が短い。（鏡面研磨までの工程が少ない） 主に樹脂材／鋼材などの研磨に使用。 ・精密ポリッシャー 研磨圧力、研磨時間を設定することが可能。 超硬・セラミックなどの硬質材を研磨してもダレを抑えることが可能。
高機能材料などの解析シミュレーション はじめ、さまざまなタイプの材料に対応した材料開発シミュレーションソフトウェア
『Materials Studio』 量子力学(密度汎関数法)、古典力学(分子動力学計算)、 メソスケール(散逸粒子動力学計算など)、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 業界・分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利用いただけます ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成、計算条件設定、計算結果表示の 全てを行うことが可能 【事例】 トライボケミカル(潤滑)反応 CFRP(炭素系素材)などの解析 結晶成長や薄膜形成、燃料電池、潤滑剤などの研究開発 触媒、ポリマーや混合物、金属や合金、電池や燃料電池など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
イオンミリング法によるCP加工でダレのない断面試料を作製します。
イオンミリング法による断面加工で、高倍率の観察に必要な精密試料調整を実施致します。 従来の研磨紙・研磨剤を用いた機械研磨では、研磨時の応力によりダレが発生したり、ボイドが潰れたり、割れが発生することがありました。 そういった現象が起きやすい試料でも、非常に弱いイオンビームで研磨加工を行うことにより、微小領域の高倍率観察・分析や結晶方位解析(EBSD)が実施可能な断面試料を作製するとができます。
