電極センサ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

高い位置分解能を実現・非接触測定 単電極センサー D-510

分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー

D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。