電源整合器(rf電源) - メーカー・企業と製品の一覧

高周波電源および整合器

エッチング、スパッタリング、CVDで活躍する高周波電源

トルンプの高周波電源は、半導体製造のエッチングやスパッタリングをはじめ、様々なアプリケーションで幅広く使われています。 独自の技術が生み出す高精度な出力制御、高い出力効率と堅牢な設計によりエンドユーザー様における高いスループットや運用コストの削減、省エネを安定的にサポートします。 トルンプは高周波電源にとって欠かせない整合器（マッチボックス）も揃えており、高度なアルゴリズムとプロセスモニターが可能なデジタル制御プラットフォームによって、迅速なインピーダンス整合が可能です。