遅延真空電磁弁
遅延真空電磁弁
油回転式真空ポンプが停止すると、ポンプ内の油が真空装置側へ逆流するオイルバックが発生します。これを防ぐには、ポンプが停止し、メインバルブが完全に閉止した後にポンプの吸気側を大気圧に戻す必要があります。遅延真空電磁弁は、メインバルブとポンプとの間に設置するだけで、通常のON-OFF時だけでなく、停電時も、真空装置側へのオイルバックを防ぐことができる遅延リークバルブです。真空ポンプが停止し、メインバルブが完全に閉止するまでの間、ポンプ吸気側の真空破壊を遅らせることができるので、真空ポンプや真空装置を保護することができます。
- 企業：日本精器株式会社
- 価格：応相談
