露光顕微鏡(xyステージ) - 企業1社の製品一覧

微小スポット露光顕微鏡

微小領域に紫外光照射検査ができます。

微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

• 企業：株式会社アイティ・テック
• 価格：応相談

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