微小領域に紫外光照射検査ができます。
微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。 レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
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基本情報
【特長】 1.微小領域に紫外光照射検査ができます。 2.レーザ光を取り付けてレーザートリミング顕微鏡が構成できます。 3.ファイバ分光機を取り付けて顕微分光測光ができます。 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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新技術の製造・開発をサポートする検査機の試作・自動機・オンライン機をあなたのアイデアとご希望に合わせ一緒に考え製作します。 受注製品のハード・光学系・ソフトの設計および製作メンテナンスからアフターサービスまで提供します。