ナノレイヤー膜厚測定用高精度非接触ゲージ『NCG-R』
厚いウエハから極薄ウエハ(1μm未満)まで厚さ測定が可能
被測定物を損傷させることなく、高精度な非接触測定を実現します。 あらゆる種類の表面や材料(高反射面を含む)に対し、極めて高い解像度で厚さ測定が可能です。 専用の光学センサーを搭載したNCG-Rシステムは、高い保護性能(IP規格準拠の筐体など)を備えた設計により、製造工程後の検査から工程内検査まで、幅広い用途に対応可能です。 薄膜、コーティング、ナノ層などの厚さ測定は、NCG-Rシステムの最大の特徴であり、卓越した性能を発揮します。NCG-Rコントローラー(可視光タイプ)は、あらゆる種類のセンサーヘッドに対応しており、測定範囲や使用環境(作業距離やスポットサイズなど)に最適化された性能を実現しています。
- Company:マーポス株式会社
- Price:応相談