非接触ハンド - 企業1社の製品一覧

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧

ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能

• 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置